微電子、集成電路工業超純水的應用
來源:上海純水設備??????2024/5/6 9:52:32??????點擊:
【上海純水設備】微電子、集成電路工業超純水的應用
半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、、微電子等工業需用大量的超純水清洗半成品、成品。電子級水質分為五個行業標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm。
電子工業超純水處理設備通常采用兩級反滲透主機加EDI模塊,其基本工藝流程為:
原水→石英砂過濾器→活性炭過濾器→軟化水裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透→純水箱→二級高壓泵→二級反滲透→純水箱→增壓泵→EDI→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點上海反滲透純水設備 上海EDI超純水處理設備 上海工業純水設備 上海純化水設備 上海實驗室超純水設備